上海科研人员“定制”微器件 为新材料应用探路 _ 东方财富网

微电子器件(简称：微器件)“潜伏”在人们日常生活中，比如一部普通手机的CPU(中央处理器)里有多达百亿个晶体管(微器件的一种)。据来自中国科学院上海技术物理研究所的消息，该所的王建禄研究员等人，通过新型制备方法，能按需定制微器件，有望加速未来的新型半导体材料的应用。相关成果于北京时间25日在线发表于国际期刊NatureElectronics(《自然·电子学》)。

王建禄研究员在上海接受媒体采访时介绍，传统的半导体微器件工艺过程十分繁琐复杂，例如，要通过几百道甚至上千道的工艺，才能获得常用的计算机芯片，研究团队探索的是：如何以简单的工艺，按需定制微器件。

可以这么描述他们的制备方法：用“纳米画笔”在“画布”上画出微器件。这里的“纳米画笔”指的是纳米尺度的针尖。“画布”则是一种特殊的纳米薄膜——铁电薄膜。

“这层具有极性的铁电薄膜就像一张纳米厚度的神奇画布，运用纳米画笔可以在画布上任意作画，画作就是各类微器件，还可以反复擦写画布，这种方法给制备微器件提供了丰富的想象力。”王建禄如是说。

王建禄同时也指出，这种制备方法适用于几乎所有的半导体薄膜材料，但由于传统材料的制备工艺已相对成熟，新方法更适合用于未来新型低维半导体材料的应用上。

据悉，这项研究由中国科学院上海技术物理研究所与复旦大学、华东师范大学、南京大学、中国科学院微电子所等多个课题组合作完成。(完)

（文章来源：中国新闻网）